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低溫等離子體凈化技術是近年來發展起來的另一種廢氣治理新技術。低溫等離子體VOCs凈化技術利用介質放電產生的等離子體以極快的速度反復轟擊廢氣中的氣體分子,去激活、電離、裂解廢氣中的各種成分,通過氧化等一系列復雜的化學反應,使復雜大分子污染物轉變為一些小分子的安全物質,或使有毒有害物質轉變為無毒無害或低毒低害物質。
低溫等離子體技術處理污染物的原理為:在外加電場的作用下,介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子,使其電離、解離和激發,然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應,使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質,或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質,從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev,適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。