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采用臭氧脫硝技術可得到較高的NOX脫除率,典型的脫除范圍為70%~90%,甚至可達到95%,并且可在不同的NOX濃度和NO、NO2的比例下保持高效率;因為未與NOX反應的O3會在洗滌器內被除去,所以不存在類似SCR中O3的泄漏問題;除以上優點外,該技術應用中SO2和CO的存在不影響NOX的去除,而臭氧脫硝也不影響其他。
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